蘇揚看了半秒劉元龍,，道：“這些設(shè)備,，的確是最新的半導(dǎo)體核心設(shè)備,，尤其是光刻機,?！?p>　　說著,，指著光刻機道：“這臺光刻機里面的激光器,、光束矯正器,、能量控制器,、光束形狀設(shè)置,、遮光器、能量探測器,、掩模版都是國際最前沿的技術(shù)產(chǎn)品,。”

　　蘇揚繼續(xù)道：“另外，掩膜臺的運動控制精度達到納米級,，物鏡,、量臺、曝光臺,、內(nèi)部封閉框架,、減振器等物，也都是目前最先進的產(chǎn)品,?！?p>　　“當(dāng)然，最主要的還...