第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機(jī)
“岸然,這事我必須當(dāng)面和你說清楚,,這七套設(shè)備雖然都是1.5微米制造工藝,,不過其中有四臺,和其他的有些區(qū)別,。”
王岸然一下來了興致,。
“有什么不一樣,?”
“有三臺使用的是高壓汞燈i線365納米光源,而另外四臺……”
“張教授,,你倒是說?。 ?p> 張大京嘴角帶著笑,指著王岸然說道:“岸然,,我一直以為你比別的年輕人沉得住氣,,現(xiàn)在看來,只是沒找到你感興趣的東西...
“岸然,這事我必須當(dāng)面和你說清楚,,這七套設(shè)備雖然都是1.5微米制造工藝,,不過其中有四臺,和其他的有些區(qū)別,。”
王岸然一下來了興致,。
“有什么不一樣,?”
“有三臺使用的是高壓汞燈i線365納米光源,而另外四臺……”
“張教授,,你倒是說?。 ?p> 張大京嘴角帶著笑,指著王岸然說道:“岸然,,我一直以為你比別的年輕人沉得住氣,,現(xiàn)在看來,只是沒找到你感興趣的東西...