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芯片的戰(zhàn)爭(zhēng)

第093章 光掩模制版

芯片的戰(zhàn)爭(zhēng) 颶有梗 2172 2019-10-25 10:24:49

  令余子賢興奮的是,在蔡俊杰的研究資料里面看見了光刻技術(shù)工序工藝中,,與最重要工藝的電子束曝光系統(tǒng)對(duì)應(yīng)的微米級(jí)掩模的制造,。

  聽著好像有點(diǎn)繞口、難懂,,但是要說這種微米掩模技術(shù)的先進(jìn)性,,還得從掩模技術(shù)的發(fā)展說起。

  芯片的生產(chǎn)流程圖簡(jiǎn)單來說要經(jīng)過IC設(shè)計(jì),、制版,、芯片加工,,封裝、測(cè)試包裝幾大環(huán)節(jié),,如果簡(jiǎn)單地打個(gè)比方來說,,如果比喻成一本書的印刷的話,就是:寫作,、排版,、印刷、裝訂,、檢驗(yàn),、打包。

  而前面說的掩模對(duì)應(yīng)書本印刷里面的排版,,只要排好版了,,對(duì)著版面印刷,才能印出一本整齊漂亮的書,。同理,,在芯片加工之前,需要將設(shè)計(jì)好的芯片版圖進(jìn)行制版,,只有以此為模板,,進(jìn)行芯片制造光刻,才能制造出裸晶,,再這些裸晶中檢測(cè)挑選出好的,,最后芯片進(jìn)行封裝,才算是一顆可用的芯片,。

  再往細(xì)了說,,就是光刻工藝是芯片制造中最為重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形復(fù)制到硅片上,,為下一步進(jìn)行刻蝕或者離子注入工序做好準(zhǔn)備,。

  在芯片制作過程的光刻工序,通常需要經(jīng)過多次光刻工藝,,在半導(dǎo)體晶體表面的介質(zhì)層上開鑿各種摻雜窗口,、電極接觸孔或在導(dǎo)電層上刻蝕金屬互連圖形。

  而光刻工藝需要一整套(幾塊多至十幾塊)相互間能精確套準(zhǔn)的,、具有特定幾何圖形的光復(fù)印掩蔽模版,,簡(jiǎn)稱光掩模版。

  光掩制造技術(shù)是隨著平面工藝的誕生逐漸發(fā)展起來的,。

  在1963年共和國就已經(jīng)研制成功了平面晶體管和硅數(shù)字集成電路,。這時(shí)候就是沿用的傳統(tǒng)的照相術(shù),首先在銅板紙上噴涂一層黑漆,然后用手術(shù)刀人工刻圖,、截圖,,采用大型照相機(jī)照相制成掩模板。

  等到七十年到,,共和國從曰本引進(jìn)一批聚酯紅膜刻圖機(jī)和可在超微粒干版上曝光的E線分步重復(fù)曝光機(jī),,才算是擺脫人工進(jìn)入了機(jī)械制造光掩模的能力;而八十年代,,掩模技術(shù)設(shè)備再次更新?lián)Q代,,在建立滿足自身光學(xué)掩模生產(chǎn)所需的鉻板的同時(shí),又利用中美蜜月期,,引進(jìn)了一批高精度光學(xué)制版設(shè)備,,包括可變光闌式圖形發(fā)生器,還有與之配套的GCA公司的精縮機(jī),。此時(shí)共和國的掩模制版能力跨上了一個(gè)大臺(tái)階,,也是光掩模技術(shù)制造業(yè)的鼎盛時(shí)期,,最接近國際光掩模制造水平的高光時(shí)刻,。

  可喜隨著進(jìn)入90年代,國際進(jìn)入亞微米集成電路和亞微米加工技術(shù)的實(shí)際應(yīng)用,,共和國的光刻技術(shù)以及光掩模技術(shù)再次到了設(shè)備高興周期,。

  而此時(shí),隨著國際政治環(huán)境的變化,,共和國引進(jìn)之門被巴統(tǒng)禁運(yùn)徹底關(guān)上,。

  蔡俊杰正開發(fā)的掩模技術(shù)直接影響著掩膜版的質(zhì)量,而光掩模版的質(zhì)量?jī)?yōu)劣不僅僅直接影響著光刻工藝的質(zhì)量,,還影響著半導(dǎo)體器件或集成電路的電學(xué)性能,、可靠性和芯片成品率。

  不如說佟若愚之前說的3微米工藝芯片的良率從59%有希望提高到70%以上,,就是因?yàn)槿绱恕?p>  芯片成品率隨著掩模版的缺陷密度的增大而按負(fù)指數(shù)關(guān)系急劇下降,。據(jù)推算,若要達(dá)到95%以上的成品率,,掩模版的缺陷密度必須控制在每平方厘米0.175 個(gè)以下,。如果缺陷密度增大到每平方厘米1.25個(gè),則成品率因缺陷的直接影響會(huì)下降到65%以下,。因此,,根據(jù)佟若愚的說法,此時(shí)蔡俊杰的掩膜版技術(shù)應(yīng)該是取得了突破,。

  而這個(gè)突破是余子賢非??粗氐模蛻{這個(gè)技術(shù),,這個(gè)廠子收購下來都值了,,余子賢可不打算一直在3微米左右混,。4英寸的晶圓最小可以加工1.2微米工藝的芯片。余子賢希望在收購回來的1-2年來達(dá)到這個(gè)標(biāo)準(zhǔn),。

  共和國此時(shí)打算上馬的908工程,,因?yàn)楦鞣N原因,可是到98年才打到0.9微米的,,國內(nèi)其他合作項(xiàng)目也是在1995年才跨國1微米的門檻,,進(jìn)入到亞微米技術(shù)的。

  只有領(lǐng)先才有飯吃,,縱使做不了全球技術(shù)領(lǐng)先,,但是可以引領(lǐng)國內(nèi)技術(shù)的發(fā)展,為自己爭(zhēng)取更多的話語權(quán),,這有這樣,,共和國電子工業(yè)才有崛起的希望!才能避免像前世一樣,,跟在別人后面一直在吃土,!

  想通這些之后,余子賢又給蔣月華打電話,,告訴已經(jīng)打算收購蔡氏晶圓廠的決定,,讓他那邊可以啟動(dòng)盡職調(diào)查,還有貸款程序,。

  他得回內(nèi)陸一趟,,想想辦法看能不能搜刮些錢,他實(shí)在不想抽干金拱門的流動(dòng)資金啊,,那都是本錢,,會(huì)下崽的搖錢樹啊,!魔方智慧是更沒有可能了,,現(xiàn)在他的資金鏈剛持平,大計(jì)劃當(dāng)前,,更加不敢亂動(dòng),!

  之后,又和蔡老板簽了個(gè)收購協(xié)議,。

  到此時(shí),,余子賢才覺得自己可用的人手真是太少了,什么事情都得自己跑,!

  他現(xiàn)在有了一絲期待,,不知道蔣月華什么時(shí)候從匯豐銀行正式離職,到時(shí)候怎么都得想辦法挖過來,金融這一塊對(duì)方是專業(yè),,可以讓自己少操多少心,!

  這邊事情安排好之后,余子賢和郝萌又返回了羊城,,準(zhǔn)備做飛機(jī)返回燕京,。

  可是當(dāng)天的飛機(jī)直飛燕京的沒有了。兩三天之后倒是有,,可是時(shí)間等不及?。?p>  今天已經(jīng)是2月2號(hào)了,,按照老爺子的計(jì)劃,,在8號(hào)左右好像有一個(gè)燕京全市表彰大會(huì),非要余子賢去參加,,說什么有驚喜之類的,。

  這還有五六天了,先把自己的事情辦好,,完了參加會(huì)議,,春節(jié)前《看圖猜成語》游戲又要上線,到時(shí)候自己也得參加,,這都是一堆事情,!

  今天怎么都得走,,不然事太多,,時(shí)間來不及!

  沒辦法,,兩人只好買了中轉(zhuǎn)廈鷺市的機(jī)票,。

  郝萌這邊的事情也算是告一段落了,現(xiàn)在回去可以在家過一個(gè)春節(jié)了,。

  余子賢有個(gè)不知道是好還是壞的習(xí)慣,,每次坐火車或者做飛機(jī)的時(shí)候都要把自己排空放干凈,不然總感覺在火車或者飛機(jī)上上廁所太麻煩不自在,。

  這次也不例外,。余子賢讓郝萌先上,他先在大廳上了個(gè)洗手間,,等余子賢登機(jī)的時(shí)候,,前面的人已經(jīng)登機(jī)一半有余了。

  排隊(duì)安檢,,余子賢前面正好一個(gè)拎著密碼箱的小伙子,,看起來很煩躁的樣子,神態(tài)有些慌張。余子賢沒有在意,,以為對(duì)方是不是身體有什么不舒服的,。

  這個(gè)小伙子也就20余歲,很年輕,,身高1米7左右,。一身西服,他一手拿著一束塑料制紅玫瑰,,看起來是個(gè)有情調(diào)的有錢人,。

  不過大家都順利的通過安檢,兩人也依次順序登機(jī),。

  余子賢在登上飛機(jī)進(jìn)入機(jī)艙門的剎那,,突然一陣心悸,說不來的莫名煩躁,,只當(dāng)是等坐飛機(jī)的心底一絲恐懼,,沒有在乎。

  

颶有梗

廈門,,簡(jiǎn)稱,,鷺,鷺島,。

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