頂尖的光刻機(jī),，還需要體積小，但是功率非常高而且要穩(wěn)定的光源,。

　　以ASML的頂尖光刻機(jī)來(lái)說(shuō),，其使用波長(zhǎng)短的極紫外光，光學(xué)系統(tǒng)可以說(shuō)是極復(fù)雜,。

　　有頂級(jí)的鏡頭和光源,，沒極致的機(jī)械精度，也是白搭。光刻機(jī)里有兩個(gè)同步運(yùn)動(dòng)的工件臺(tái),，一個(gè)載底片,，一個(gè)載膠片。

　　兩者需始終同步,，誤差在2納米以下,。兩個(gè)工作臺(tái)由靜到動(dòng)，加速度跟導(dǎo)彈發(fā)射差不多,。

　　SMEE最好的光刻機(jī),，包含13個(gè)...